一種石墨盤檢測裝置，其特征在于，所述裝置包括：
拍攝模塊， 用于拍攝石墨盤的表面，得到所述石墨盤的表面圖像；
第一判斷模塊， 用于根據所述石墨盤的表面圖像判斷所述石墨盤的表面是否存在破
損；
第二判斷模塊， 用于當所述石墨盤的表面不存在破損時，根據所述石墨盤的表面圖像
判斷所述石墨盤的表面是否存在色差；
掃描模塊， 用于當所述石墨盤的表面不存在色差時，對所述石墨盤進行超聲波掃描，得

到所述石墨盤的反射率；
分類模塊， 用于根據所述石墨盤的反射率對所述石墨盤進行分類，同一外延生長設備
采用同一類所述石墨盤進行外延生長。
7.根據權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述拍攝模塊， 用于將所述石墨盤的表面
分為多個區域；依次拍攝所述石墨盤的表面的多個區域，得到多張所述石墨盤的表面圖像。
8.根據權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述第一判斷模塊， 用于顯示所述石墨盤
的表面圖像；接收人工操作指令，所述人工操作指令用于指示所述石墨盤的表面是否存在
破損；或者，將所述石墨盤的表面圖像輸入預定的分類器，根據所述分類器的結果確定所述
石墨盤的表面是否存在破損。
9.根據權利要求6-8任一項所述的裝置，其特征在于，所述第二判斷模塊， 用于將所述
石墨盤的表面圖像分為多個區域；計算每個區域的平均灰階值； 計算任意兩個相鄰區域的
平均灰階值的差值；當存在任意兩個相鄰區域的平均灰階值的差值大于閾值時， 確定所述
石墨盤的表面存在色差。
10.根據權利要求6-8任一項所述的裝置， 其特征在于， 所述掃描模塊， 用于發射超聲
波；接收經過所述石墨盤反射回的超聲波；根據發射的超聲波的強度和反射回的超聲波的
強度，確定所述石墨盤的反射率